Beykoz Göksu’da Küçüksu Caddesi üzerinde bulunan Mihrişah Valide Sultan Cami, 1750 yılında II. Mustafa’nın zevcesi Mihrişah Sultan tarafından yaptırılmıştır. Yıllar içerisinde bakıma muhtaç hale gelen cami Osmanlı padişahı II. Mahmut’un fermanı ile 1835 yılında restore edilmiştir.
1930’larda caminin hemen yanında bulunan Küçüksu Kasrı, devlet büyüklerine tahsis edilince cami cemaati azalmış ve bu süreçte caminin minaresi anlaşılamayan bir sebeple yıkılmıştır. Minaresi yıkılan cami bir süre sonra Anadolu Hisarı İdman Yurdu’na tahsis edilmiştir. İlerleyen zamanlarda bir siyasi parti tarafından lokal ve halk evi olarak kullanılmaya başlanmıştır. 1950 yılında çok partili döneme geçildikten sonra, caminin lokal olarak kullanılması vatandaşların tepkisine yol açmış ve caminin tekrar ibadete açılması için Vakıflar Genel Müdürlüğü’ne dilekçeler verilmiştir. Ancak değişen bir şey olmamış ve 1950’lerde, Celal Bayar’ın Küçüksu Kasrı’nda oturduğu sırada, tartışmalara son vermek için halk evi olarak kullanılan yer tamamen yıktırılmıştır.
2013 yılında Tarihi Küçüksu Mesiresini canlandırmaya yönelik gerçekleştirilen projeyle cami aslına uygun olarak inşa edilmeye başlanmış ve 2014 yılında tamamlanmıştır.
Tek minareli ve tek şerefeli olan bu cami, Küçüksu Cami olarak da bilinmektedir.